光刻机哪个国家的最好 为什么荷兰ASML光刻机是最强的(2)

那么，正常来说，EUV光刻机究竟制造有多难呢？我们通过列出一组数据来看看。

单台光刻机的设备售价一般都是超过1.5亿欧元。

一台光刻机的设备超过100000个零件，以及3000多条线路。

光刻机拥有13个子系统，单台设备整体重量高达180吨，运输时需要装满40个货柜。

同时，10多面精度要求异常苛刻的反射镜，精度以皮米计，用蔡司的话说就是这可能是宇宙中最光滑的结构。

另外，为了产生波长13.5nm超短波长的光，需要持续用20kw的激光轰击从空中掉落的金属锡液滴，液滴直径只有20微米，而且同一个液滴需要极端时间内连续轰击两次才能产生足够强度的极紫外光。为了保证光的持续性，每秒要轰击5万次。