为什么中国生产不了光刻机 目前我国有攻克光刻机吗(2)

那么华为不可以找台积电代加工芯片么?问题还是出在光刻机这里,由于台积电很多芯片生产技术是美国的,所以美国可以通过专利技术限制台积电为华为代工芯片。
不过上海微电子出产的这台28nm光刻机将打破这一现状,它也属于DUV光刻机的范畴。对于我国来说,光刻机技术的进步,将有利于国产芯片自主化的发展。再也不怕美国人在芯片上卡中国企业的脖子。
一旦成功实现28nm光刻机组织下线,国内就可以打造完全自主化的芯片生产线。目前14nm和28nm的芯片可以满足国内90%的需求。并且中芯国际已经宣布突破了7nm芯片的工艺,有望在6月份实现量产。
最主要的是,中芯国际的7nm芯片工艺也是通过DUV光刻机实现的。而此时上海微电子又宣布成功突破了28nm的光刻机,并且在不久之后交付一台给中芯国际,这无疑是国产芯片打了一个漂亮的翻身仗。

就在网友为此欢呼的时候,我国科学家吴汉民院士却泼了网友一头冷水,他表示最高端的EUV光刻机一台得1亿多美元,需要英美日德等多个国家的高端技术协作才能生产出来。
里面大概有10万多零部件,全世界超过5000家供应商,荷兰的ASML也是属于组装的高端光刻机。中国要独力制造EUV光刻机的话,不太现实,也需要参与到全球化当中。
吴院士的话意思很明显,主要有两个点。第一层就是说虽然中国制造出了DUV光刻机,但这离最顶尖的光刻机还有差距,而且这些技术被欧美等发达国家垄断掌握,我们还需要进步。那么荷兰ASML的EUV光刻机,有什么厉害之处呢?

EUV光刻技术的研发最早源于1996年,被国际半导体技术发展路线图确定为下一代的首先光刻技术。之后,美国、欧洲和日韩纷纷参与角逐。
其中美国参与EUV光刻技术的研究机构超过50家,欧洲下的血本最大,超过35个国家、110个研发机构参与到该技术研究。日韩也是举国之力来参与其中。
经过20多年的激烈竞争,最终胜出的是美国,掌握了绝大部分的技术专利。这也是EUV光刻机出口需要美国点头的原因,而美国禁止ASML出口EUV光刻机给中国。
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